產品簡介描述
PSU棒 半導體設備部件耐200℃半導體生產設備用,適配半導體生產需求,200℃耐溫性精準匹配需求
產品基礎信息
本品為聚砜(PSU)半導體設備部件,主打200℃耐溫特性,采用高純度耐高溫原料制成。部件表面潔凈度高(符合Class100潔凈標準),尺寸公差小(±0.005mm),能滿足半導體生產設備對部件耐溫與潔凈的基礎需求。
核心性能優勢
這款PSU半導體設備部件的核心優勢為“耐200℃”,精準匹配半導體生產設備的使用需求。
(1)200℃耐溫性:可長期穩定承受200℃高溫環境,短期耐溫峰值達220℃,遠優于普通耐高溫塑料部件。半導體生產(如光刻、沉積工藝)常需高溫操作,該部件能在高溫下保持結構穩定、性能無衰減,避免因耐溫不足導致部件變形、污染晶圓,保障半導體芯片生產良率。
適用場景
主要適配半導體生產設備部件安裝場景,具體可應用于三類核心場景:
(1)晶圓熱處理設備:作為晶圓退火、氧化爐的內部支撐部件(如晶圓載具、隔熱支架),200℃耐溫性適配高溫熱處理工藝,確保晶圓在高溫環境下穩定傳輸,減少晶圓損傷。
(2)半導體清洗設備:用于半導體晶圓清洗設備的噴淋臂、腔體配件,耐溫特性應對清洗后的高溫烘干步驟(180-200℃),同時潔凈表面避免清洗液殘留污染晶圓。
(3)半導體封裝設備:適配半導體芯片封裝的高溫固化設備部件,200℃耐溫性應對封裝膠高溫固化需求,保障封裝過程穩定,提升芯片封裝可靠性。
采購與服務保障
產品常規規格庫存穩定,下單后可快速安排發貨;
提供耐溫性能檢測報告(200℃長期使用穩定性測試),采購前可驗證潔凈度;
收貨后可核對尺寸公差與表面潔凈度,非人為問題支持退換,潔凈車間安裝建議可隨時咨詢客服。